二手 ASYST VersaPort 2200 #9220477 待售

ASYST VersaPort 2200晶圆处理程序是一种机器人设备，在半导体和MEMS测试、组装和晶圆级封装操作中自动处理2"和3"晶圆。该系统旨在支持多种晶圆处理操作，包括晶圆探测、分选、映射和清洁，以及检查和测试，并配备了坚固的超高真空卡盘驱动器。VersaPort由主机箱、流程模块和智能控制单元组成。主机箱为所有机械功能提供了基础,因为它包含主驱动机和真空卡盘。流程模块为工具增加了灵活性和可扩展性,因为它可以为许多不同的应用程序提供不同的晶圆处理工具。VersaPort的智能控制资产借助图形用户界面（GUI）方便了模型的设置和修改。VersaPort的设计考虑了操作员。它配备了众多的安全特性，包括全机械互锁和可编程安全区设备。此外，由于该系统采用IP65级金属外壳、HEPA过滤器和气封机器人臂，因此能够承受恶劣的生产环境。此单元还提供高精度,利用集成的XYZ轴、XY定位器、线性转换级和两轴移动机。这样就可以在单个工具内对晶圆传输、分离和输送进行全面的精确控制。VersaPort还可实现最高的工作效率。该资产能够每批处理各种晶片，吞吐量高达每小时200晶片。另外，晶体刚度轴允许更高的加速度，因为它提高了模型的速度和精度。此外,VersaPort占用空间较小,因为它具有模块化设计和各种可扩展组件。总体而言，VersaPort 2200是一款面向半导体和MEMS生产行业的创新晶圆处理程序，其高精度和吞吐量能力以及可扩展性和安全特性旨在满足行业的严谨需求。