二手 ASYST VersaPort 2200 #9220701 待售

ASYST VersaPort 2200是一款设计用于自动晶圆处理的高性能晶圆处理程序。它能够处理多达250毫米的晶圆，容量可达500个晶圆。VersaPort 2200利用CAE Arm机制，提供精确的晶圆放置控制。CAE臂配有真空拾取头,使操作员能够在VersaPort中将单个晶片切片拾取并精确放置到插槽中。VersaPort还具有广泛的功能,旨在提供卓越的晶圆处理能力,例如晶圆取向、自动对准和晶圆支持。它还配备了一个全自动的卡带装载机和卸载机，另一个很大的好处，它使操作员能够快速准备大批量的晶片进行处理。ASYST VersaPort 2200提供多种工艺功能,包括热和光学薄膜沉积、光刻、湿蚀刻、干蚀刻、钝化和晶片粘合。它还配备了内置的机械臂，减少了疲劳，简化了操作员的操作。最后,VersaPort 2200设计用于洁净室环境,因为在必要时可以将其密封以保持无菌环境。它还与各种安全协议兼容,并通过集成安全功能确保100%的安全合规性。总体而言,ASYST VersaPort 2200是一款功能强大的晶圆处理器,旨在加快各种自动化流程。它的各种特性和功能使得它成为任何晶圆制造和加工挑战的绝佳选择。