二手 ASYST VersaPort 2200 #9230186 待售

ASYST VersaPort 2200是一款精密的晶圆处理器,旨在提供半导体制造过程与执行最终半导体器件生产所需测试的设备之间的平滑、无缝接口。VersaPort 2200的工作原理是在半导体制造过程中实现晶片在不同步骤之间的自动传输。ASYST VersaPort 2200由几个主要组件组成。VersaPort 2200的第一个部件是载波，它是一个用于承载半导体晶圆的模块化框架。这些托架装有定心销，能够方便地与其他模块耦合，如自动卡带、热工作站、温度站等。在自动化过程中，载波被装载到机械臂上，机械臂会将晶片卸载、转移和重新定位到载波中。ASYST VersaPort 2200的第二个组件是自动卡带装载机。该设备的设计目的是快速可靠地将晶片加载到载波和载波中。自动卡带装载机有两种预配置的卡带类型，可以根据需要手动更换。此外,自动卡带装载机具有可调节的插槽大小,以适应各种晶圆大小和厚度,一次最多可装入500个晶圆。第三个部件是热工作站，设计用于在特定温度下"热抓地力"和转移晶片，用于制造和测试。热工作站采用聚焦在晶片上的高强度激光，快速、准确、可靠地进行传输。此外,热工作站的温度范围为摄氏0-1000度,以适应不同温度度的晶片。VersaPort 2200的第四个部件是温度站，用于在制造或测试过程之前稳定晶圆温度。温度站由两段组成，一个温控室和一个冷却剂歧管。温控室的温度范围为-100至+100 °C，有助于保持晶圆的恒定温度。冷却剂歧管设计用于向晶片输送低温冷却或热处理气体，允许精确的晶片温度设置。ASYST VersaPort 2200的最后一个组件是机器人模块。这个模组有能力一次携带1到12个晶圆，使得最大容量600个晶圆可以被测试。机器人模块允许VersaPort 2200的自动能力以及在半导体制造过程中转移和重新定位晶片的能力。此外,机器人模块能够检测传输过程中的错误并报告这些错误以采取进一步的操作。总体而言,ASYST VersaPort 2200是一款可靠高效的晶圆处理器,可优化半导体制造工艺。VersaPort 2200具有根据温度快速准确传输晶片的能力。此外,ASYST VersaPort 2200还有助于最大限度地提高晶圆测试和制造的吞吐量。