二手 ASYST VersaPort 2200 #9245689 待售

ASYST VersaPort 2200是由领先的半导体自动化解决方桉提供商ASYST Technologies设计的创新晶圆处理程序。它是一个全自动平台，有四个穿梭臂，允许快速晶圆吞吐量和灵活的晶圆处理。VersaPort 2200旨在满足最高的生产效率、准确性和质量要求,同时为晶圆传输操作提供经济高效的自动化。ASYST VersaPort 2200具有灵活的九乘九模块化晶圆表示和传输设备。它支持200 mm和300 mm晶片,以及非标准配置,如凸起和难以接触的基板。四个可互换的穿梭臂提供了一个可配置的范围的运动。这样就可以定制、精确和精确地操作航天飞机臂，以便为裸片（未加工）和加工后的晶片实现高吞吐量。该系统可以编程为执行广泛的晶圆处理操作。该单元还有一个集成的高级晶圆跟踪机器，提供实时数据来监控流程。它还有一个用户友好的触摸屏HMI，让操作员能够快速轻松地调整参数，以适应他们的特定需求。它还配备了先进的视觉工具，用于在传输操作中检测、检查和确认晶圆和基板信息。VersaPort 2200的设计符合严格的清洁空间要求。它配备了业界领先的超低振动设计，将振动降至最低，确保即使是最脆弱的晶片也能安全处理。它拥有先进的空气资产，能够控制和循环高精度气流在整个腔室，旨在尽量减少颗粒污染。ASYST VersaPort 2200是一款功能强大、可靠且经济实惠的晶圆处理器。它旨在满足晶圆传输操作的最高生产率、准确性和清洁度要求。这是一个完美的选择，生产和开发设施，以满足他们的晶圆处理需求。