二手 ASYST VersaPort STD AMP #9251766 待售

ASYST VersaPort STD AMP是ASYST Technologies开发的模块化、可编程和自动化晶圆处理程序。VersaPort STD AMP设备是一种多轴晶圆处理解决方桉,专门设计为可定制,允许更大的灵活性来满足生产要求。利用其模块化设计，它可以很容易地适应于处理各种不同的晶圆大小，同时也很容易满足最复杂的晶圆处理过程的需求。ASYST VersaPort STD AMP具有2轴系统,以及标准的旋转多轴模块,由具有"J"和"L"运动样式的高精度温度和运动控制单元支持,以提高精度。此外，晶片处理程序还具有"自动清洁"功能，它使用专用的晶片移动器和专门的检测和清洁设备来有效清洁晶片。VersaPort STD AMP还包括一个吞吐量优化的托盘处理过程,每个周期可处理多达25个晶圆,与传统晶圆处理程序相比,处理速度显着加快。ASYST VersaPort STD AMP可以配置为与客户的工艺工具（如扩散炉、沉积室和热退火炉）完美集成，并包括一个可选的高级检测机来检测有缺陷的晶片。VersaPort STD AMP的高级功能集还包括集成的双面晶片处理程序、改进的晶片加载/卸载以及旨在减少晶片表面污染的尘埃过滤工具。ASYST VersaPort STD AMP安全且易于使用,它具有可编程的异常处理程序,可提供错误恢复和纠正例程,以帮助防止生产过程中的中断。这一可靠的晶圆处理资产还具有直观的触摸屏界面，简化了命令的输入，其多级安全模型确保只有授权用户才能访问设备。总体而言,ASYST Technologies VersaPort STD AMP是一种通用灵活的晶圆处理解决方桉,为用户提供可靠高效的晶圆处理解决方桉。其可自定义的设计使得它非常适合满足现代半导体行业日益复杂的需求。