二手 ASYST VersaPort #293587537 待售

ASYST VersaPort
ID: 293587537
SMIF Load port.
ASYST VersaPort是一款先进的晶圆处理器,旨在降低成本、提高吞吐量并实现半导体和光电子生产的高水平自动化。VersaPort能够处理直径不超过12英寸的晶片,为各种晶片尺寸和工艺提供了灵活性。它以全自动的方式将晶片从输入传输到输出并进行处理。ASYST VersaPort由几个关键组件组成,即ASIC(应用特定集成电路)、臂模块、适配器模块和外围接口。ASIC是ASYST Technologies设计工具包的产品,作为VersaPort设备的中央控制逻辑运行。它支持整个系统并满足用户的特定需求。手臂模块是ASYST VersaPort的重要组成部分。它为机械臂提供了一个关节连接的末端效应器,使其能够移动、旋转和操纵晶片。适配器模块提供了一个在使用时安全地安装晶片的平台,并允许在其连接器之间轻松交换晶片。此外,还可用于与外部机床集成,如离子植入器、CVD溅射系统、固化炉和测绘工具。外围设备接口是VersaPort的最后一个主要组件。它充当ASYST VersaPort与视觉系统、映射工具和打印机等外围设备之间的连接。该接口与臂电动机协同工作,可方便地集成这些设备和远程监控晶圆的生产。VersaPort的当前迭代提供了一些附加功能,如终端效应器互换性(EEI),它允许快速、轻松地交换终端效应器,以适应不同的晶圆大小、布局、几何形状和过程。EEI还由于方便的维护和可维护性而减少了停机时间。该单元也是高度模块化和可配置的,允许灵活和扩展机器与用户的需求。除ASYST VersaPort核心组件外,ASYST还提供其他附件产品,以进一步定制VersaPort以满足特定的生产需求。ASYST Technologies ASYST VersaPort晶圆处理程序是高吞吐量和经济高效晶圆生产的终极解决方桉。其先进的工程设计、专用配件和可配置性使其成为寻求自动化和准确方法来处理大量晶片和基材的公司的绝佳选择。
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