二手 ASYST VersaPort #293600170 待售
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ASYST VersaPort是一款晶圆处理程序,旨在提供集成的单位置机器人设备,以满足半导体行业中许多晶圆处理应用程序的需求。VersaPort既具有挑选功能,又具有高水平的灵活性和可扩展性,可满足不断变化的过程和生产要求。ASYST VersaPort系统由几个主要组件组成,包括机器人、控制器和多个用于外围设备连接的模块。VersaPort机器人，又称铰接式机器人臂，是一种多用途、高速的机器人单元，可以自主和适应性地发挥作用。它的控制器是一个集成了多轴运动控制、路径控制、配方管理和机器人命令执行的模块化运动控制器，集成到一个单一的层次控制机中。其外围连接模块使ASYST VersaPort工具能够与各种晶圆设备和组件接口,如旋转管、翻转管以及拾取和放置卡盘。VersaPort使用先进的机器人视觉系统来检查、识别和准确快速地将晶片放入和退出盒式磁带插槽。ASYST VersaPort还具有负载锁定功能和真空管理功能,以确保晶圆在传输过程中不会逸出或损坏。此外,VersaPort还配备了集成传感器和安全系统,以降低资产故障风险。传感器检测和监视机器人区域中的状况,例如模型应力和负载,从而允许机器人在发生紧急情况时关闭或重新布线。安全系统包括集成的门锁设备和紧急停止按钮。ASYST VersaPort配备了强大的软件和编程设施来支持自动晶圆处理应用程序。它具有全面的运动编程能力，多级控制，参数和定义，高级配方控制，以及可互换的程序序列。此外,VersaPort可以针对不同的流程和应用程序轻松重新配置。ASYST VersaPort是一个通用的高速机器人系统,适用于各种晶圆处理应用程序,提供了令人印象深刻的灵活性和可扩展性。它将自动运动、视觉检查和安全系统结合到一个单一位置的解决方桉中。VersaPort是一款可靠、高效的晶圆处理程序,能够快速、准确地运行,且产量高.
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