二手 ASYST VersaPort #293745391 待售
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ASYST VersaPort是一种晶圆处理设备,用于在制造过程中运输和操纵半导体晶圆。它用于将晶片移动和定向到单元格和前端工具集,并在基于PC的中央控制器上运行。VersaPort可以与生产线的不同部件集成,并具有前端加载和卸载模块,以及几个附加组件。ASYST VersaPort由一个固定基座和几个集成组件组成,其中包括机器人、机器人驱动器、端口能力机器人和机器人控制器。机器人负责将晶片从一个位置移动到另一个位置,以及定向和操纵它们。它还具有多种安全功能,如紧急停止按钮和可伸缩的手臂,以防止意外地捏或折断晶片。便携式机器人的设计是便携式和移动容易在不同的工具集。它也是一个节省空间的工具,因为它能够适应狭窄的位置。机器人控制器是系统的大脑,引导机器人如何有效、安全地移动和定向晶片。它还控制着气压的流动,这使得晶片在前往下一个工具组的旅程中保持稳定。两个系统由机器人驱动器连接,负责机器人的垂直和水平运动。VersaPort的设计既符合人体工程学,又便于用户使用,可方便地访问,以及对晶片进行高效、安全的操作。它运行在基于Windows的单元上,易于管理和维护。它还提供了不同级别的访问权限,允许不同的用户对机器进行编程以适应特定的需求。该工具还可以与后端工具集、前端装载机和数字图像采集系统等其他系统集成。总体而言,ASYST VersaPort是一种高效灵活的晶圆处理资产,易于设置、使用和维护。它可靠可靠,为晶圆操作提供了一个安全的环境。此外,该模型高度可定制,以适应各种用途。
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