二手 ASYST VersaPort #9167556 待售

ASYST VersaPort是一款先进的晶圆处理程序,旨在提高晶圆处理的速度和精度。它是一种紧凑、移动的设备，既适合实验应用，也适合工业应用。它结合了高度自动化和灵活性,以适应各种配置。VersaPort系统最多可处理200毫米晶圆,最多可处理250毫米,并具有用于敏感作业的内置N2-purge选项。它还具有先进的晶片等温环境以保持恒温，这对于晶片加工的成功至关重要。通用单元提供了一系列功能，包括自动晶片夹紧和加载，晶片的自动对准和分级，以及集成的预处理检查。它还具有确保晶圆优化的集成视觉能力和用于监测晶圆位置的内部晶圆电机，以及复杂的移动控制。这台机器能够在整个晶圆处理周期内实现自动化。它根据需要提供准确、可重复的定位和移动,以及可重复的测量和晶圆对准。该工具还旨在减少人工干预,提高操作效率,同时提高资产可靠性。ASYST VersaPort由高性能软件工具、工具集和库支持,允许用户在维护模型安全性的同时完全自定义其操作。它有一个支持包,其中包括技术支持和培训、服务包以及最新的软件更新。最后,VersaPort设备提供了一系列全面的安全和合规性功能。它设计有一套全面的安全和合规性规定，包括激光和晶圆污染保护，以及洁净室级用户和机器界面。该系统还具有用于处理敏感晶片的多个隔离通道。总之，ASYST VersaPort是一个功能强大、用途广泛的晶圆处理单元，可以处理各种晶圆大小和类型。它提供了一系列功能和功能,以确保高效和准确的处理,包括自动对齐和分期、流程前检查以及一系列安全和合规性功能。