二手 ASYST VersaPort #9213041 待售

ASYST VersaPort是一个晶圆处理程序,旨在为各种应用程序提供快速高效的生产。VersaPort是一种单件式多站晶圆传输设备,可提供倒置和水平方向的精度和可靠性。它可以配置为通过自动或手动加载晶片来支持多个应用程序。ASYST VersaPort利用模块化系统,允许扩展具有用户可定义灵活性的单个晶圆处理程序。该单元设计得尽可能小巧，由集中控制硬件机器控制。原位静电夹具提供运动轴与晶片之间的恒定接触，以便在转移过程中精确放置。VersaPort的高级设计和直观的用户界面提供了丰富的控件和功能,以确保高效生产。ASYST VersaPort的支持附件可以集成到机器人机体中以提供额外的功能。这包括自动加载锁定附加组件、预对齐器和缓冲区堆栈。这些附件旨在减少操作VersaPort时的手动处理量。资产还包括负载/卸载臂、晶片卡盘和适配器盘片,它们允许根据应用程序进行多种配置。ASYST VersaPort能够执行高速分选、高精度设备控制、晶圆传输和索引。其精密的视觉模型允许晶圆识别、对准和条形码读取性能达到每秒5+晶圆。通过刚性框架设计和非接触传感器技术确保了负载稳定性，从而在传输过程中保持了晶圆的稳定性。设备还包括环境控制功能，如氮气净化、真空转移和可选电子束控制界面。VersaPort晶圆处理系统允许用户体验各种晶圆应用的单个平台的效率。其强大、紧凑、可靠的设计为晶圆处理需求提供了经济高效的解决方桉。它是可扩展和可定制的，以满足每个应用程序的特定需求。ASYST VersaPort具有广泛的功能和附件,以及强大的控制功能,可提高制造效率和吞吐量。