二手 ASYST VersaPort #9219619 待售

ASYST VersaPort是一个晶圆处理程序，旨在提供半导体晶圆的自动化、串联装卸。它是一个全自动处理程序,具有很高的吞吐量容量,旨在减少设置时间并最大程度地减少人机交互。VersaPort的设计提供了最大的灵活性,并具有多种流程选项和工具功能。ASYST VersaPort可以处理直径达200毫米的晶片,每个循环最多可处理15个晶片。它被设计成具有直观用户界面的高效晶圆处理解决方桉。VersaPort配备了可选的视觉系统,可用于过程控制、晶圆分类和检查功能。这些视觉系统还可以检测晶圆划痕和其他缺陷，从而在过程中实现精确的晶圆处理。ASYST VersaPort能够与各种流程工具接口,并且可以集成到现有的处理线路中。它能够在无需人工干预的情况下将晶片从一个工具传输到另一个工具,并且可以配置为在线和离线操作。VersaPort有多个具有高吞吐量和统一性的流程选项。这些工艺选项旨在最大限度地提高吞吐量,并以最小的缺陷产生最高的产量。ASYST VersaPort还配备了先进的机器人设备,能够为晶片充电、传输和取消充电。该系统采用两级解密装置，用于加工工具装卸过程中的精确晶圆处理。机械机采用节能设计，以降低能耗。集成了一个离线可编程软件界面,以实现快速的流程更改和配方开发。VersaPort配备各种安全机制和功能，确保操作员和晶圆安全。它旨在通过精确对准和自动晶圆处理来减少人为错误。其中包括一个综合视觉工具，用于检测任何错位，并为流程校正提供反馈。ASYST VersaPort的直观用户界面和高级自动化功能旨在减少停机时间并提高工作效率。