二手 ASYST VersaPort #9228375 待售

ASYST VersaPort是一款高性能晶圆处理器,旨在为前后晶圆存储提供可靠、高效的半导体晶圆处理。凭借其先进的设计，它能够以高达200毫米/秒的速度装卸晶片。VersaPort主要用于制造集成电路芯片和其他相关组件。ASYST VersaPort由底座和车厢两个车身部件组成。基座是单元的基础，并容纳驱动模块、电机和电源。托架包含主要晶片处理组件，包括晶片插座和晶片穿梭。晶圆贮器的设计可以容纳直径不超过200毫米的晶圆。它由金属和塑料材料构成，以确保晶片的高速和可靠的运动而不会损坏。晶圆穿梭器是一种机械臂，可以将晶圆从贮器移动到储存室或直接移动到最终用户。VersaPort配备了先进的机器人技术和控制技术，以确保有效的晶圆处理。其先进的算法使其能够以精确的速度和轨迹精确处理晶圆输入和输出，同时提供晶圆的精确放置和拾取。ASYST VersaPort还配备了先进的视觉系统，用于识别和区分不同类型的晶圆。这样可以确保所需晶片的正确路由。VersaPort包括一个功能强大的软件平台，用于控制其操作、管理和跟踪晶片，并提供诊断。它还提供了E-Stop和限速器等高级安全功能。E-Stop功能可以立即停止手臂及其所有操作,而限速器可以调节和管理晶圆穿梭的速度。这样可以提高处理晶片的安全性。总体而言,ASYST VersaPort是一个可靠、高效的晶圆处理程序。其先进的设计确保了晶圆的高吞吐量、数据的精确处理以及晶圆的精确放置和拾取。它的安全特性也确保了对操作人员和晶圆处理质量的保护。