二手 ASYST VersaPort #9277985 待售

ASYST VersaPort是一款机器人晶圆处理程序，设计用于在多站工具之间快速准确地移动半导体晶圆。它利用单一、全自动、多轴机器人加快前端和后端产品的装卸过程。这使得VersaPort非常适合晶圆吞吐量处理应用程序。ASYST VersaPort为半导体晶圆高速传输提供了高精度、重复性和精度。它提供了具有自定义扫描技术的可配置的4轴或6轴设计,从而在几秒钟内实现了完全晶圆交换。它具有UltraSmooth®运动控制系统,可确保运动平稳安静。这是通过在所有轴上同步运动来实现的。处理程序的伺服驱动器和多轴机械臂用户友好,可通过易于使用的软件平台访问。VersaPort提供了广泛的功能,可实现精确高效的晶圆处理。这包括一个集成的视觉系统、机械手臂末端工具和多个托盘位置，用于送入各种尺寸的盒式磁带。其负载端口采用防静电销磁密封，以保证安全。该处理程序与直观的软件平台完全集成,可轻松设置各种晶圆大小和类型。ASYST VersaPort还拥有先进的传感器技术,为高精度处理提供了无与伦比的性能。这种传感器技术消除了在每次刀具转移之间进行手动晶圆居中的需要。此外,系统还配备了可调节的喷嘴,可以精确处理各种晶圆尺寸。VersaPort的构建考虑了用户安全。它集成了上下盖门、拇指安全开关、灯帘、联锁、紧急停止按钮等几个安全功能。这样可确保处理程序始终保持安全。最后,ASYST VersaPort是一款先进可靠的半导体晶圆交换机器人处理器.其用户友好的软件平台、传感器技术和安全功能使其成为业界最高效、最精确的晶圆处理程序之一。