二手 ASYST VUV-7000 #9162955 待售

ASYST VUV-7000是一个晶圆处理程序,包含先进的自动化功能,旨在为电子、制药和半导体行业等行业的用户提供更简单、更高效的材料运输和传输。该设备具有4个线性运动轴,总行程范围为11英寸。每个轴线的移动都由集成的伺服设备提供动力,该设备允许极其精确的材料定位和处理。它还包括一个集成真空系统，在使用机械臂时牢固地保存材料。VUV-7000的双臂结构允许它执行一系列晶圆处理任务，从装卸到转移和移动晶圆。机器人对每个轴都有一个独立的电动机驱动器，这使得它能够在精确控制晶圆旋转的情况下进行独立的操作。机器人定位精度精细0.2mm，6轴能力允许超低扭矩串扰先进主轴耦合。这使得ASYST VUV-7000非常适合要求苛刻的应用,例如半导体制造过程中的高精度材料传输。VUV-7000还具有一个集成的晶片级介电测试环路，用于测量晶片在加工过程中的介电特性。环路与高级控制器单元集成，使用户能够更高效地监控晶圆性能和加工材料。此外，ASYST VUV-7000能够处理各种材料，从易碎晶片到真空密封设备。其增强的视觉机使用户能够实时监控整个物料传输路径，使他们几乎可以即时调整机器的位置和运动。VUV-7000还提供了一系列安全功能,包括安全的外壳和锁定机制。它设计用于恶劣的环境，具有高达50°C的耐温性。简而言之,ASYST VUV-7000晶片处理程序是一种先进的自动化解决方桉,旨在为各种行业的用户提供更简单、更高效的材料运输和传输。其集成的真空工具、6轴性能、介电测试环路和增强的视觉资产都使其非常适合要求苛刻的应用。此外，其安全特性和耐温性的范围使得它非常适合恶劣的环境。