二手 ASYST WMS 2200 #293636083 待售

ASYST WMS 2200是一个晶圆处理程序,嵌入了高级晶圆传输系统,提供自动晶圆/标线/模具分类、装卸功能。WMS 2200集成了材料跟踪、警报管理和业界领先的软件,提供了卓越的性能。晶圆处理器可扩展且完全配置，占地面积1300mm x 1430mm，宽865mm，高1658mm，最大重量1300kg。ASYST WMS 2200能够处理各种基材，包括多达八个200 mm晶圆，以及多个标线、模具和面板。它设有两个自动装卸系统，每个系统配备两个独立的装载站。WMS 2200还具有两个标准FOUP（前开口统一吊舱）端口、两个垂直FOUP端口、两个低高度FOUP端口和两个垂直盒式磁带端口。所有这些端口都支持所有范围的FOUP大小,包括不同高度的窗格类型,以及不同几何形状的门类型。配备先进的晶圆传输系统，ASYST WMS 2200还包括一系列内部传感器和最先进的运动控制。这些控制可确保操作准确可靠,并具有最小的运动抖动,即使在高达32,000毫米/分钟的最高运行速度下也是如此。传感器有助于检测基板变形和对准，确保正确的操作运动，并验证模具识别信息。WMS 2200还包括广泛的安全功能，包括机器人门联锁控制系统、FOUP门安全装置和夹具、错位跳闸区域和软停止检测、快速停止检测以及移动部件的联锁和盖。此外，处理程序还配备了几个用户友好的功能，如多级卡带访问系统、触摸屏图形用户界面和一系列可调节的参数，用于定制操作。ASYST WMS 2200还包括范围广泛的自动实时诊断、参数集和条形码读取器系统,以及一系列材料跟踪数据库和实用程序,可提高操作的可靠性和灵活性。总之,WMS 2200提供了适用于许多应用程序的完整晶圆处理解决方桉,它结合了强大的自动化、高级安全功能和用户友好的功能,实现了高速、高精度的操作。广泛的材料处理、跟踪和过程控制功能使该处理程序成为半导体和光电制造商的首选。