二手 ASYST WMS 2200 #9269343 待售

ASYST WMS 2200是ASYST Technologies Inc.开发的自动化晶圆处理程序,旨在为研究和生产目的提供高效可靠的晶圆传输。设备设有两个吊舱位置、四个晶片载体，以及一个自动装卸晶片的转运室。它的最大吊舱容量为20个25毫米晶圆，晶圆载体根据晶圆的大小最多可容纳8个晶圆。该系统还配备了视觉单元，使其能够实时检测和识别晶片的取向，确保晶片从载流子精确转移到吊舱。WMS 2200由真空机器和晶片处理面板构成，用于晶片传输的精确和受控压力，降低了损坏晶片的风险。它结合了两级真空工具和信号源，使资产能够检测和监测气压水平。晶片处理面板由可用于传输晶片的真空拾音器、检测晶片方向的传感器和运动检测器组成，用于精确传输，以及可调节的持有者，以确保控制压力，用于均匀传输。该型号还配备了集成控制设备，使用户能够控制晶圆传输过程。该控制系统可用于预置多个晶圆传输序列，使晶圆传输过程自动化。此外，该单元还配备了一个用户友好界面，用于监测和管理晶圆传输过程的状态。ASYST WMS 2200旨在在广泛的应用中提供可靠的晶圆传输性能。其强大的设计和高精度的功能提供了卓越的性能,使其成为满足研究和生产需求的理想选择。其用户友好的控制机器和广泛的特性使得WMS 2200适合于各种类型的晶圆传输，为晶圆的传输提供了稳定可靠的解决方桉。