二手 BLUE M S05IEU55 #9236617 待售

BLUE M S05IEU55晶片处理程序是一种机器人晶片处理设备,设计用于传输和处理各种过程的晶片。该系统能够在工作站、流程开发中心甚至多种工具之间传输晶片,从而实现自动晶片处理的最大灵活性和效率。该单元由一个基本单元、两个上部升降臂和五个下部导引探头组成。基座单位尺寸1750毫米乘1150毫米，具有高架工作区。升降臂由液压驱动，可提升至底座单元上方500毫米。下部导引探头也是液压致动的，可以抬高至基座单元上方45°。机器配备了一个6轴机器人手臂，能够控制多达四个机器人。每个机器人都有自己的参数，允许它单独或成组移动。机器人手臂可以水平移动到900毫米，垂直移动到600毫米。机器人最大速度为2.5m/sec，基座上方达到范围1.5m。晶圆处理程序还具有一个自动晶圆交换站，最多可支持两个不同的帧和八个不同的晶圆大小。交换站配备了集成视觉工具和高质量的图像处理软件。此软件允许使用公差和机器视觉设置精确定位不同大小的晶片。资产还有一个晶圆升降机，可以安全地容纳晶圆进行转移。晶圆升降机的容量高达3500克,能够自动旋转至270°而不会损坏晶圆。该型号还与其他设备兼容，如真空阀、力传感器、集群工具和检查系统。S05IEU55晶片处理程序采用模块化设计,额定用于ESD和清洁室环境。该设备设计可靠，运营和维护成本低，并得到各种配件和服务的支持。BLUE M S05IEU55晶片处理程序具有优异的性能，是晶片处理任务自动化的理想选择。