二手 BLUECODE BWS800B #148299 待售
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BLUECODE BWS800B Wafer Handler是一种功能齐全的高性能晶片处理设备,设计用于在工艺室和支持设备之间加载、卸载和传输晶片。该晶圆处理器是半导体器件制造及其他先进微电子生产工艺中晶圆转移的理想解决方桉。BWS800B可提供最大的吞吐量、卓越的晶圆放置精度和高水平的可重复性。其自动化操作使其能够快速、轻松地集成到生产过程中。该体系结构包括一个独立的负载端口及其控制器,以及一个可选的负载端口升降机,以提高生产效率并缩短传输时间。运输系统允许双面和单面过程双向进入,并具有用于控制机器人臂和晶圆运输单元运动的嵌入式软件。机器人臂由耐腐蚀、坚固的材料制成,能够准确地将晶片放置在支架上和支架上。机器人手臂上装有用于校正位置的EPC传感器,安全处理的"手臂锁"机构,以及监视机器内所有晶片位置的跟踪传感器。晶圆传输工具采用空气涡轮泵,确保晶圆上的空气流动干净、干燥和一致,而真空资产则有助于安全地保持、运输和释放晶圆。先进的静电放电(ESD)模型确保了设备的安全和晶圆处理程序的屏蔽,以确保电气部件和数据的安全。该系统共有四个独立的负载端口,并配有两个手臂夹持器,每个夹持器有八个口袋,携带的晶圆尺寸可达200毫米。BLUECODE BWS800B能够在极端环境条件下运行,在-10°C至+45°C的温度控制环境下运行,在满足某些预定义条件时安全关闭,确保晶圆处理操作的安全性和可靠性。该设备还经过安全认证,可以开箱即用地集成到任何生产线中,并且包含冗余组件,以确保最小的停机时间和最大的性能。BWS800B Wafer Handler的设计方便用户使用,包括关键部件上的LED指示灯、突然电源故障的手动重置和检查机器健康状况的自检等自我诊断功能。它还包括具有可定制设置和数据管理选项的直观软件,以确保正确配置工具,以及通过Internet连接远程控制资产。这种综合晶圆处理程序是任何制造或微电子生产过程的宝贵资产。
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