二手 BROOKS 002-0016-34 #293642901 待售

BROOKS 002-0016-34晶圆处理程序是一种多轴精密晶圆处理程序，设计用于自动化半导体设备。此处理程序与各种常见的晶片尺寸兼容,专门用于恶劣、无污染的环境。该处理器采用先进的真空晶片传输技术，能够以受控、精确的方式移动晶片。晶圆处理器由重型铝合金框架构成，采用三级伸缩可伸缩臂进行晶圆操纵。机械臂由两台步进电机提供动力，能够提升晶片并将其输送至1106mm（44in）。手臂使用齿轮和皮带进行平稳运动，并有一个内置的Jacobs卡盘，用于快速方便的晶圆装卸。它还配备了分辨率为0.1mm（0.0025英寸）的无触摸晶片定心设备。002-0016-34晶圆处理程序还具有多轴控制单元,能够精确控制晶圆的传输。这个单元配有一个专用的运动控制板，位于单元的基座上，预编程有各种不同晶圆类型的运动轮廓。用户能够根据需要将运动轮廓自定义到特定的晶圆尺寸。晶片处理程序还包含一个光学传感器,可帮助确保晶片在整个处理过程中保持正确居中。除了多轴控制单元外，BROOKS 002-0016-34晶片处理器还具有先进的真空晶片传输系统，使用嵌入式真空源传输晶片。该装置提供安全可靠的真空环境，确保晶片在不同机器人设备之间的安全准确传输。真空晶片输送机还设有一个清除碎屑的工具，防止颗粒和灰尘堆积在晶片上。002-0016-34晶圆处理程序设计为满足具有挑战性的制造环境最严格的要求。它能够在高达65°C（150 °F）的温度和相对湿度降至25%的温度下运行。该晶片处理程序旨在为在无污染环境下在不同机器人设备之间运输晶片提供可靠有效的方法。