二手 BROOKS AquaTran #158153 待售

BROOKS AquaTran是最先进的晶圆处理程序。它设计用于处理任何尺寸可达200 mm x 200 mm的晶片。AquaTran具有低力、低角度传递机构以及紧凑、符合人体工程学的设计。设备有一个完全封闭的操作环境，旨在保护晶片免受灰尘、水和其他污染物的侵害。机箱还可提供热量管理,并最大程度地降低噪音水平。环境被密封加压，允许系统在低至1 Torr的真空中运行，以及其他非真空操作环境。BROOKS AquaTran配备了真空负载锁单元，以尽量减少晶圆处理时间，保护晶圆免受环境污染。它还配备了静电电荷监控器，可以检测晶圆发出的任何静电荷泄漏。该机设计为提供快速、高效的晶圆处理。它具有高精度定位工具和三轴伺服驱动器资产,以及自动定位模型,可确保精确的晶圆对准和放置。此外，它还配备了先进的气流设备，用于清洁、低压工艺和晶片装载。AquaTran针对温度控制工艺和光刻系统进行了优化。此外，它还可以被编程为直接控制整个光刻系统，显着减少人工加工时间。该单元与最先进的晶圆处理和转移技术兼容，使其能够与几乎任何生产单元集成。此外,它还能够与其他系统（如主机计算机）通信。这确保了BROOKS AquaTran与其他系统之间的无缝集成。最后，这台机器极其可靠，平均失败率超过4000小时。这样可以确保最大吞吐量、产量和质量控制。