二手 BROOKS AUTOMATION 002-0016-14 #293695824 待售

BROOKS AUTOMATION 002-0016-14是一种晶圆处理设备，开发用于提供可靠、高效的加载、卸载和处理多个晶圆的方法。该模型是BROOKS AUTOMATION系列晶片处理产品的一部分,其设计目的是确保晶片在其载波之间的均匀、精确的装卸以及晶片的装卸。002-0016-14为高性能和可靠性而设计，提供0°至50°C的最高温度范围。这个范围提供了晶圆的可重复和可靠的处理，允许多个工具之间的过渡，延长过程时间和长期操作。功率法与20k真空相结合，使其能够轻轻夹紧和运输晶片，确保晶片级加载和卸载精度。BROOKS AUTOMATION 002-0016-14能够一次处理多达25个晶片，这要归功于它的8口袋式弹匣，以及由于它的两个机械臂而能够快速有效地装卸晶片。这些臂可以被编程用于采摘和放置晶片，并且可以容纳各种尺寸、材料和类型。机械臂允许晶片的精确、低接触载荷和卸载，这对串联系统非常有利。002-0016-14设计为易于融入现有生产线。这是通过集成通用杂志实现的，该杂志的设计与生产线上的设备相匹配。用户友好的界面和直观的控制系统允许精确设置参数，例如晶圆厚度，并具有进行任何必要调整的灵活性。此外,它还可以轻松连接到其他自动化设备,如扫描仪和处理器。BROOKS AUTOMATION 002-0016-14旨在用于大批量生产环境，允许更快地加载、卸载和处理晶片，具有最小误差和高重复性。这些品质加上其紧凑的尺寸、强大的性能、灵活性以及与其他自动化设备的易于集成,确保了晶圆的可靠高效处理。