二手 BROOKS AUTOMATION 002-0790-05 #9386156 待售

ID: 9386156
Wafer handling robot.
BROOKS AUTOMATION 002-0790-05晶片处理器是一种精密控制的处理设备,提供高水平的晶片级处理生产效率。此自动化设备旨在为客户提供能够生产出优质产品的自动化流程。晶圆处理器采用不锈钢结构,具有非磁性驱动系统和高精度,可重复性为5µm。它能够处理200毫米和150毫米晶片与阳极氧化铝方式单元,以平滑运动控制。晶片处理程序具有水平同步的Z级和XY级,设计用于在处理步骤中精确定位和操作晶片。这些级的运动控制由独立的运动控制面板提供,提供可靠的精度和可重复的运动。这个晶片处理程序还具有一个旨在减少静电的防静电发电机,以及一个在过程中帮助保持清洁干燥氮的氮气净化机。此外,这种自动化设备的集成设计还建有多种安全特性。这包括一个E-stop工具、互锁和完全封闭的门系统,所有这些系统都旨在帮助保护工人和操作员免受任何潜在危险情况的影响。再者,晶圆处理器也有多种传感器作为后盾,包括压力传感器、温度传感器和湿度传感器,便于监控过程。总体而言,002-0790-05晶片处理程序是自动晶片处理和处理的完美解决方桉。其精密控制资产提供了高水平的生产效率,而其集成的安全功能为其工人和操作员提供了充足的保护。
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