二手 BROOKS AUTOMATION 002-1099-02 REV A #9292367 待售

BROOKS AUTOMATION 002-1099-02 REV A是一款高性能晶片处理程序，旨在提供自动化、精确、快速的晶片移动和控制。它提供精密、精细运动控制和自动晶圆处理的组合。它旨在满足半导体行业的关键晶圆处理要求。002-1099-02 REV晶片处理器具有低轮廓结构,单垂直柱和上下元件,可提高稳定性和机动性。垂直柱控制晶圆的运动，以确保准确精确的定位。它利用配备扭矩电机的机械臂实现手动和自动握持、移动和缩回功能。机械臂具有内部无刷直流（BLDC）电机,可实现高速和加速性能。晶圆处理器还具有独特的三轴操作，允许最多三个晶圆同时操作。每个轴都有一个带驱动的旋转执行器和一个集成的编码器和马达。编码器提供0.05mm的分辨率，用于处理操作过程中晶圆的精确定位。皮带传动提供平稳安静的操作。BROOKS AUTOMATION 002-1099-02 REV A还具有可编程晶圆定位接口，用于精确和受控晶圆放置。接口包括两个用于监控晶圆位置的精密光学编码器和一个用于控制晶圆位置的可编程逻辑控制器（PLC）。一个空气轴承真空卡盘包括在设备安全地保持晶片在运输和处理操作。002-1099-02 REV A还具有简化系统操作和控制的用户界面。用户界面包括一个多功能显示屏和一个用于编程和操作单元的图形触摸屏界面。用户界面允许晶圆处理机的高效、准确的操作。BROOKS AUTOMATION 002-1099-02 REV A是一款先进的晶圆处理工具，结合了卓越的精度和速度以及自动晶圆处理能力。它是半导体工业的可靠和可靠的工具，能够为广泛的应用提供准确和快速的晶圆定位和操作。