二手 BROOKS AUTOMATION 002-5885-02 #9153585 待售

BROOKS AUTOMATION 002-5885-02晶圆处理程序是一种全自动的、可处理的材料处理工具,用于半导体制造。晶圆处理器是专为生产集成电路而设计的，能够安全、一致、高效的晶圆传输。晶圆处理程序由模块化设计组成，使其能够完全定制以适应其预期的环境。其特点包括可控制的旋转表、用户界面/控制面板、晶圆对齐元件和运输设备元件。晶圆处理器还配备了安全功能，以保证用户安全。利用旋转台，晶圆处理程序能够定位、定向和处理直径最大为十二英寸的晶圆。可调节的台式速度有快速和缓慢操作的设置，最慢的设置是为脆弱材料的精细处理而设计的。旋转台还提供双向运动，确保整个晶片表面的全覆盖。晶圆处理程序的用户界面由带有键盘的图形显示组成，提供了对所有相关操作参数的方便和清晰的访问。界面还提供有关表位置的实时反馈，允许用户相应调整设置。此外,晶圆处理程序还具有可配置的I/O端口,允许与其他工业设备集成。晶圆处理程序中包含的晶圆对齐组件可确保高精度。它利用自动化工艺确保晶片的精确对齐，以最大限度地提高吞吐量，并最大限度地减少晶片断裂和排斥率。通过能够拾取晶片并将其放置在平坦的表面上，可以将晶片运动引起的振动降至最低，这可能会损坏组件。晶圆处理程序的传输系统组件设计为在整个制造过程中提供晶圆的有效和安全的移动。它的加工能力设计用于广泛的应用，包括真空系统、机器人臂、输送机和其他机械。运输单元还包括视觉机部件，用于提供晶圆运动的在线监控。最后,002-5885-02晶圆处理程序通过提供自动化的、可处理的材料处理,设计为在集成电路的生产方面高效。它提供了安全功能、用户界面、晶圆对齐组件以及用于安全高效晶圆处理的传输工具。最后，它的综合视觉资产能够在线监测晶片的移动，从而实现高精度和吞吐量。