二手 BROOKS AUTOMATION 002-7090-05 ATR-7 #293643073 待售

BROOKS AUTOMATION 002-7090-05 ATR-7是专门为半导体应用设计的晶圆处理器。该晶片处理程序能够处理各种晶片类型和大小,能够安全地运输、对准和定位晶片,而不会损坏晶片。该ATR-7采用精密驱动的对准设备实现了这一目标，该设备采用了由微处理器控制的伺服系统支撑的电动级。机动化级能够进行高度精确的X和Y坐标定位，并且能够在300 mm的距离上提供0.3 μ m的空间重复性。这种精确的对准单元允许尺寸变化不超过2.5毫米的晶圆的精确对准和传输。晶圆处理程序具有多种安全功能,可帮助确保每个晶圆的下落并降低任何潜在的污染风险。这包括用于检测晶片处理不当的许多传感器，以及用于确保晶片传输时正确对准的集成监控机器。其他功能包括加热卡车模块、电子可调工艺速度和数据记录功能。为了安全地运输和对准晶片，ATR-7晶片处理程序的设计具有晶片载波和晶片对载波精度方面的多种选择。随附的晶圆载体允许精确和可重复的对准，确保每个晶圆在运输过程中正确居中，最多可容纳200毫米、7英寸或3个8英寸晶圆。载波还包括检测单个晶片和存在STS、ETS或DTS测试带的传感机构。此外，ATR-7的晶片到载流子的精度可以从0.15 µm调整到3.5 µm，从而可以在载流子内精确放置每个晶片。002-7090-05 ATR-7是一个高度可靠和精确的晶片处理程序,旨在促进半导体应用中的安全、准确和高效的晶片传输和自动晶片处理。它提供了高精度、可重复对齐以及能够以安全的方式处理各种晶圆大小和类型的能力。它是需要精确对准、跟踪和传输晶片的自动化晶片处理应用的理想解决方桉。