二手 BROOKS AUTOMATION 002-7090-05 ATR-7 #9386160 待售

BROOKS AUTOMATION ATR-7是一种多用途晶圆处理程序,能够为半导体生产中的晶圆厂操作执行不同的自动化任务。它非常适合在加工室、清算站和清洁室中使用,因为它提供了经济高效的解决方桉来高效地移动、运输和加工晶片。该ATR-7利用一个新颖的视觉系统，使其能够精确识别和操纵其环境中的物体。利用视觉系统，ATR-7不仅可以识别晶片，还可以定位晶片上的特定点进行操作和处理。它提供了密集的晶片存储，可以用于存储和传输部分，或者在从盒式磁带装卸时的部分晶片。该ATR-7还实现了最大吞吐量,并在晶圆处理方面提供了灵活性,从而实现了与应用程序特定需求的兼容性。除了晶圆处理之外,ATR-7还包括增强性能和增强整体功能的其他功能。它可以与软件和硬件选项集成,例如通用工具控制器接口和允许与主机进行交互通信的高级数字I/O。ATR-7包括互锁、自动关门、输出关闭、电源故障保护等多项安全功能。这些安全功能有助于确保工具操作安全且危害风险最小。此外,ATR-7还包括直观的用户界面,便于设置和使用。它与气动和电动晶圆吊舱载波兼容，可以处理200毫米至300毫米的尺寸。ATR-7是一个创新和多用途的机器，使其成为晶圆加工操作的理想选择。BROOKS AUTOMATION ATR-7具有精确的视觉系统、多种可选功能和安全功能,是满足任何晶圆处理需求的全面而可靠的解决方桉。