二手 BROOKS AUTOMATION 002-7200-21 #9169693 待售

BROOKS AUTOMATION 002-7200-21是一款全自动的机器人晶片处理器，设计用于半导体制造应用中300毫米直径晶片的装卸。处理程序包含一系列组件和功能,这些组件和功能协同工作以提供高效、可靠和安全的环境,从而自动将晶圆送入和送出加工工具。处理程序具有独特的机制，可以牢固地抓住晶片，同时保持柔和的保护性触摸，不接触晶片表面。抓握机构采用无刷直流电机和旋转输出凸轮驱动晶圆的两个独立真空室。电机还产生低级振动，帮助真空保持晶片的安全。此外，真空有一个软启动和可变加速度和减速剖面，使晶片处理安全。处理程序还具有温度控制的晶片盒式磁带,用于存储加工前后的晶片。使用先进的热控制系统监控和维持盒式磁带的温度，以确保最佳性能和晶圆处理精度。而且，盒式磁带可以快速轻松地互换，使晶片可以连续处理而不会有明显的延迟。整个系统由复杂的控制软件监控。自动化软件使操作员能够在飞行中调整诸如伺服设置、热控制系统参数和晶圆传输速度等参数。此外,软件还允许对处理程序进行远程监视和诊断,以确保最高级别的性能和可靠性。该软件还包括诸如asalarm分辨率记录和自我诊断等功能,以便能够快速识别和解决任何问题或故障。总体而言,002-7200-21是一种先进的晶圆处理解决方桉,它为半导体处理操作提供了极高的精度和便利。处理程序采用了多种机制和技术，以确保晶片的安全运输，而且维护要求最低。归根结底，处理程序是简化晶圆制造过程和确保最高质量和可靠性的必要工具。