二手 BROOKS AUTOMATİON 002-7391-47 #293643080 待售

BROOKS AUTOMATİON 002-7391-47是一款可靠的工业级晶圆处理器,非常适合半导体制造商。这款晶圆处理器采用模块化设计，允许制造商定制设备以满足他们的确切需求，并连接不同种类的机器人臂、船和视口。系统接受各种半导体晶圆，如200 mm、300 mm或500 mm，安全可靠。此外，它还具有高水平的颗粒控制和清洁度，以满足所需的最高规格。002-7391-47的核心是它的机械臂组件。这种柔韧的手臂为晶圆的对准和转移提供了精确的运动。它由铝合金制成，在提升高度上可以移动到200毫米，使得晶片在源和目的吊舱之间能够可靠准确的转移。该单元的另一个核心部分是它的船装配，这有助于在制造过程的各个阶段运输和储存晶片。该船由不锈钢制成，最多可容纳200个不同直径和厚度的晶圆。它具有低缺陷率,具有防跳机等功能,可在晶圆传输时将其损坏降至最低。该艇还具有内置的安全机构，旨在防止过热，配有可选的惰性大气生成模块。BROOKS AUTOMATİON 002-7391-47还具有视口组件,旨在为操作员提供整个过程的清晰视图。视口的玻璃畅通无阻，使操作员可以监视晶片处理而不会造成阻塞。最重要的是，用垫圈将视口密封起来以防灰尘和湿气。最后，002-7391-47也由高档铝和不锈钢构成，保证了可靠的性能和易于维护。所有零件都经过精密设计,可在多个过程中实现平稳运行、高可重复性和准确性。模块化设计还便于安装,且停机时间最短。综上所述，BROOKS AUTOMATİON 002-7391-47是一款可靠、最先进的晶圆处理器，非常适合半导体制造商。它专为灵活性和速度而设计,具有多功能的机械臂、船和视口模块,并增加了诸如低缺陷率、防跳过工具和内置安全机制等功能。它具有高等级的构造和模块化设计，允许快速、方便的安装、维护和可靠的性能。