二手 BROOKS AUTOMATİON 002-7394-01 REV B8 #9292388 待售

BROOKS AUTOMATİON 002-7394-01 REV B8晶片处理程序是一种精密的机器人设备，用于在清洁的环境中处理大尺寸晶片。它旨在为最大直径200毫米的晶片提供安全、温和、精确的处理。处理程序非常可靠,具有坚固耐用的机械设计以及盒式磁带加载/卸载功能。机器人的基座单元由两个大铁架和一个大基座组成，用于安全地安装晶圆处理程序。框架设计包括高达5G的动态隔振，非常适合在高振动环境中使用。此外，该基地还包括空气过滤路径，以实现最佳的颗粒控制。机器人由80V直流电机驱动系统和高分辨率旋转编码器提供动力，以实现位置精度。此单元包括用于连接主机的灵活通信端口。机器人的操控元件由两只手臂组成，两只手臂都能旋转180度，覆盖更大范围的晶圆。臂的运动由气缸、直线轴和导线螺钉组成。为确保晶片的顺利安全处理，两臂均配有基于LED的广角照明和带橡胶涂层的抓地垫。此外，机器人还包括软挡和超载保护，以保证晶圆的安全。机器人还包括两个独立的端部效应器，一个用于晶圆抓握，另一个用于旋转台式控制。晶圆夹持端效应器包括非接触式传感系统，以及用于沿晶圆边缘夹持晶圆的微型执行器。此抓地力可以调整以适应不同尺寸的晶片,而弹性垫则提供合规的外形以防止损坏。另一方面，旋转台端效应器设计有一个平滑的表面，用于安全和可重复的抓握。002-7394-01 REV B8晶片处理器能够透过其可程式移动控制器处理多个阶段。它还包括一些用于常见任务的预定义配方,如排序、传输、翻转和翻转。用户友好的界面和直观的指令指南简化了编程，以达到最大效率。机器人还设有安全联锁系统，以防止操作员受到任何形式的物理伤害。最后,BROOKS AUTOMATİON 002-7394-01 REV B8晶圆处理程序提供制造商一年的客户满意度保修。