二手 BROOKS AUTOMATION 002-7800-07 #293635378 待售

BROOKS AUTOMATION 002-7800-07晶片处理器是一种先进的晶片操纵设备，设计用于高精度晶片传输、处理和对准。它是一个由旋转和线性运动元件组成的高度复杂的系统，可以协同工作，精确地将硅晶片拾取并放置在精确的位置，以便进一步处理或储存。002-7800-07采用精密加工的五轴机器人端效应器,其设计具有最佳的精度和可重复性。该端效应器采用两个线性传递级，一个用于晶圆索引，一个强大的三轴旋转臂用于平坦度和方向控制。线性传递级在X和Y方向上创建平面运动,而旋转臂在三个轴上提供运动：滚动、俯仰和偏航。所有这些运动都由伺服电机控制和驱动单元管理,该单元负责产生所需的精确控制运动,以确保精细的晶圆处理和放置具有极高的精确度。BROOKS AUTOMATION 002-7800-07还包含了一个用户可选择的晶片夹紧机制，可用于在传输过程中固定单个或多个晶片。这种坚固的夹紧机构在电子上是可调的，并且可以配置为适应广泛的晶圆尺寸。还包括晶圆预对准阶段，允许在机器人操作之前精确定位晶圆。002-7800-07提供多个外部接口,用于通信和机器控制。这包括串行端口、USB、以太网和可选的IEEE 488.2接口。此外,BROOKS AUTOMATION 002-7800-07可以远程操作,也可以使用基本的教学重复方法进行编程。该工具可以通过一个旋转编码器CCD测量资产和一个可选的视觉模型来监控机器人端效应器的位置，以获得最大的精度。总体而言，002-7800-07是一种先进的晶片处理设备，在操纵和传输晶片时提供极高的精度和重复性。由于其强大、精确的运动控制和外部接口能力，它为推进晶圆制造过程提供了宝贵的一步。