二手 BROOKS AUTOMATION 002-7800-07 #293635384 待售

BROOKS AUTOMATION 002-7800-07是一个晶圆处理器，旨在在半导体製造设施中准确、高效地管理晶圆处理。它使用最先进的电气设计在整个处理过程中精确移动和对齐晶片。该单元具有高速、高分辨率的电气接口,可精确控制32晶圆处理周期的每一步。双龙门设计允许晶片装卸，结合精确晶片处理。第一个龙门最多可容纳四个晶片，定位在45度增量，能够移动、对准和转移到第二个龙门而无需任何接触。第二个龙门有十六个插槽，可以旋转、对准晶片并将其转移到适当的位置。这种设计使晶圆处理变得紧凑高效。002-7800-07 alsofeatures a dual-level safety equipment.这保证了操作过程中人员、物体和晶片处理系统的安全。第一层是一个基于激光的互锁单元，在打开时禁用机器，而第二层则是设计为对刀具状况进行主动监控，并在发生故障时关闭该单元。该设备还具有温度敏感组件,允许各种处理温度。晶片处理程序更先进的功能包括集成晶片定位资产和精密晶片加载和输出控制。晶圆位置模型永久监视晶圆的位置，可以为每个晶圆准确地提供高度精确的晶圆移动信息。载荷和载荷输出控制在载荷和卸载过程中准确控制每个晶片的位置和重量。总体而言,BROOKS AUTOMATION 002-7800-07晶圆处理程序是一种高效、精确的晶圆处理设备,可提高半导体制造的生产率。002-7800-07具有最先进的电气设计、精密晶片处理能力和全面的安全功能,是任何半导体制造工厂的重要组成部分。