二手 BROOKS AUTOMATION 002-7800-07 #293635385 待售
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BROOKS AUTOMATION 002-7800-07是用于半导体制造的晶圆处理程序。此晶片处理程序具有坚固可靠的设计,可同时支持多达12个直径200毫米的晶片,使其成为高效、高通量材料处理的完美解决方桉。002-7800-07具有较低的热电噪声特征,使其适合处理纤薄半导体晶片等细腻材料。晶圆处理程序由非磁性材料构成,以防止污染问题,并利用Van-der-Waals力轻轻降低晶圆与基板之间的附着力,方便晶圆交换。为了安全和方便起见,晶圆处理程序可以配置为用户自动或手动操作。内置的精密控制系统提供精确的温度、夹具和升力循环监控,以确保与晶圆到晶圆交换相关的所有运动在基台的一次旋转内发生。晶圆处理程序的电子元件通过包含的耐腐蚀真空密封保护免受环境损害。BROOKS AUTOMATION 002-7800-07配备了精密的自动化视觉系统,对非理想晶片放置进行监控和补偿,以确保晶片到晶片交换过程中的准确性和可重复性。集成机器人臂也与视觉系统协调工作,从它们对应的相邻储罐中精确装卸多达十二个直径200 mm的晶圆。002-7800-07旨在提供可重复、可靠的材料处理,甚至可以承受最严密的工业和实验室环境。晶圆处理程序是为满足最严格的安全和质量标准而设计的,它是一个简单可靠的解决方桉,可满足物料处理需求。该晶片处理程序是一种高效高效的高通量材料处理解决方桉,具有精确的精度和可重复性。
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