二手 BROOKS AUTOMATION 002-9400-04 #9064599 待售
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BROOKS AUTOMATION 002-9400-04晶片处理器是一种全自动晶片处理工具,设计用于多个大体积晶片的精确和高效传输。这种自动化设备能够在一次操作中同时传输多达四个6英寸晶片,从而提高吞吐量和增加容积。002-9400-04晶片处理器包括一个8站式卡带穿梭系统,提供精确的运动控制,成功在卡带和集成微调之间移动晶片。这种运输装置允许精确和一致的定位。集成到BROOKS AUTOMATION 002-9400-04中的微调器设计用于高精度晶圆对准和装卸操作中的放置。晶圆处理器可以根据基准标记自动对准晶圆,对准后可以以精确的方向自动转移晶圆。002-9400-04具有保护晶圆处理过程完整性的先进安全措施。旋转器周围的灯帘可以检测人员进入附近,并自动激活旋转器塞子,确保旋转器在有人试图进入晶片加载/卸载区域时停止旋转。此外,晶片处理程序还包括视觉检测机,能够检测晶片在转移前后的异物颗粒和划痕。在性能方面,BROOKS AUTOMATION 002-9400-04晶圆处理程序被设计为能适应广泛的用户需求。此工具使用户可以灵活地自定义诸如晶片大小、处理速度和操作时间等设置,从而实现快速高效的晶片加载/卸载操作。晶圆处理程序还具有一系列诊断和远程控制功能,以便更轻松、更高效地进行资产操作。总体而言,002-9400-04晶片处理程序是一个自动化模型,提供精确高效的多个大容量晶片传输。集成的微调器、运输设备、安全特性和性能功能确保了晶圆的准确可靠处理,以实现大批量生产。
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