二手 BROOKS AUTOMATION 003-5000-11 #9149716 待售

BROOKS AUTOMATION 003-5000-11是一款先进的晶圆处理器，设计用于实验室和研究设施，其中精确处理半导体晶圆至关重要。这种自动处理程序能够处理200毫米至300毫米晶片，具有集成的热边和冷壁真空设计。晶圆处理器由用户友好的触摸屏UI控制，并配有4轴机器人手臂。这种机器人手臂有50mm的运动范围，最多可携带25kg的材料。003-5000-11采用运动传感器和高精度线性运动级构建,用于低噪声和稳定基板传输。线性运动级具有变速控制，最大转速为200 rpm，分辨率优于0.1微米。晶圆处理程序还具有用于精确基板放置的全自动预对准阶段（FAPS）。FAPS使用两台1.8英寸CCD摄像机,它们具有"On-Axis"和"Off-Axis"照明,可精确对准。除了主要的晶圆处理功能外，BROOKS AUTOMATION 003-5000-11还设计了多种安全特性和联锁装置，以防止意外操作。它集成了工前、工后部件和工具,以及电磁干扰（EMI）滤波器和手动紧急停止按钮。此外，晶圆处理程序的设计，以尽量减少清洁的需要，采用了半密封的美学设计。003-5000-11设计为可配合蚀刻、光刻、切丁、晶圆粘结等多种处理技术。它的工作温度范围为4-60°C，相对湿度范围为30-95%，允许处理程序在一系列环境中使用。总体而言,BROOKS AUTOMATION 003-5000-11是一款出色的晶圆处理程序,可满足所有晶圆处理需求。它具有一系列安全特性，可靠、精确，使研究人员和工程师能够准确、自信地完成工作。003-5000-11具有高度可定制的软件和集成的触摸屏控制,是自动晶圆处理的理想选择。