二手 BROOKS AUTOMATION 003-7200-23 #9226630 待售
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ID: 9226630
Backbone platform
BROOKS 003-1600-32 Mag 7 Robot
BROOKS 002-4037-03 Power pack
(2) BROOKS 003-9010-03 VCE 6 Vacuum cassette elevators
(2) VAT 0310X-CA24-AKK3 Rectangular gate valves
BROOKS Pre-aligner
BROOKS Mag 7 arm set
BROOKS 002-7090-04 Aquatran wafer handling robot
BROOKS 101374 Robot controller
(2) BROOKS 002-7200-21 Load ports.
BROOKS AUTOMATION 003-7200-23是一款晶圆处理器，为在半导体工业中精确可靠的晶圆处理和定位而设计。它是BROOKS AUTOMATION系列晶圆处理程序中的最新型号,为晶圆抓取和放置提供了卓越的精度水平。该设备由集成的双轴伺服电动机驱动，确保晶圆处理器内的优越、精确和可靠的运动能力。此伺服电机最多可支撑5个运动轴：用于晶圆放置的X、Y、Z轴和用于晶圆尺寸选择的两个轴,以及用于对准的倾斜和旋转。集成的PID运动控制器提供平滑、实时的运动轨迹，而内置位置编码器则提供位置反馈，以确保准确可靠的晶圆定位。还集成了视觉系统，以确保晶圆的精确定位。该单位的设计效率高，成本效益高。它能够高效地处理晶片,最大限度地提高吞吐量,同时最大限度地减少卸载和加载新晶片的停机时间。它还采用了选择性运输机制，使晶片能够快速、方便地装卸。直观且用户友好的触摸屏显示屏使计算机设置和操作变得轻而易举,而模块化设计则允许进行可升级、灵活的配置。该机还设计了鲁棒性和寿命，长期提供准确可靠的晶圆处理。该工具是针对极端操作条件而设计的，并配有集成的环境控制资产。此外，该模型旨在促进设备部件的定期维护和校准，以确保顶级性能。003-7200-23晶片处理程序是一个非常先进、可靠和高效的集成晶片处理系统,非常适合要求更高精度和可靠性的半导体制造应用。
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