二手 BROOKS AUTOMATION 02110-BA24-AJY1 002-4037-02 #9204641 待售

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ID: 9204641
Backbone transfer module.
BROOKS AUTOMATION 02110-BA24-AJY1 002-4037-02是一个晶圆处理程序,旨在提供高级集成功能和强大的机器人处理系统,以帮助简化晶圆级工作流中的过程和过程。该处理器设计有软件控制的快速晶片传输以及用于晶片感测和识别的复杂视觉工具。该处理程序设计用于自动将单个晶片或多个晶片从一个加工室输入、退出和传输到另一个加工室。该处理程序以最小的处理力运行,降低了破损风险,提高了操作速度。此处理程序的最大有效载荷能力为1.5千克,是自动化生产过程的强大工具。自动处理程序设计用于多种环境,包括类清洁室、半清洁室和危险气体控制操作模式。处理程序具有直观的人机界面,可用于直观的用户控制。GUI便于物理配置机器的传感器和终端效应器。它还允许以图形或表格形式实时显示系统。处理程序还包括一个内置的配方库,可方便地访问各种流程,可根据不断变化的流程需求不断改进。02110-BA24-AJY1 002-4037-02晶圆处理程序还配备了一系列安全功能。它包括可调节的安全围栏、光度传感器和双级E-stop,以防止处理不当的潜在危险。它具有先进的动能运动控制软件,用于在管道中精确移动颗粒,以及专用的晶圆支撑系统,以减少对工艺材料的有害污染。它还提供了一套全面的安全检查,以确保安全操作,并通过自动纠错降低机械或软件故障的风险。总体而言,BROOKS AUTOMATION 02110-BA24-AJY1 002-4037-02是一款功能强大的工业级晶片处理程序,配备了一系列高级功能,能够自动控制晶片级流程工作流。其软件控制功能和安全功能使其成为最大程度提高工艺效率和最大限度降低处理敏感材料相关风险的理想工具。
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