二手 BROOKS AUTOMATION 02110-BA24-AJY1 003-9300-78 #9204645 待售

BROOKS AUTOMATION 02110-BA24-AJY1 003-9300-78是晶圆处理程序,旨在在加工、测试和计量站之间轻松高效地移动半导体基板。它的刚性结构和精密部件，如直线轴承、滚珠螺钉以及旋转和直线执行器，保证了光滑可靠的晶圆操控性能。设备配有界面逻辑、安全联锁、精密运动控制，便于融入用户现有的生产环境。此晶圆处理程序具有广泛的功能和选项。它允许自动化、半自动化或手动操作,以及盒式磁带、FOUP和FOSB的加载和卸载选项。其接口逻辑支持双向通信、系统诊断和数据记录，以及用于真空、刀片、冷却和视觉系统的各种外部驱动程序。晶圆处理器设计有安全特性，如减压阀、安全联锁和安全屏障，以及电磁屏蔽，以保护设备和环境。晶圆处理程序设计用于处理各种基材尺寸,包括200 mm和300 mm基材。其载荷能力为120KG，载荷高度范围为150 mm至1150mm。该装置配备了先进的运动控制技术，允许移动速度高达200毫米/秒。它还支持高精度运动和精度,可重复性为0.008mm。此晶片处理程序采用节能组件设计,包括无刷伺服电机、皮带驱动器和高效开关调节器,以确保高性能和降低能源成本。该设备是为长期性能而设计的,其维护要求极低。它提供了对所有单元组件的智能监控,可确保在任何可能的维护需求成为问题之前确定它们。晶圆处理程序还具有可靠、用户友好的操作机器，简化了设备的设置和编程。它支持广泛的可配置参数，包括加速、减速、速度、起停位置以及步进和重复操作。这样可以轻松定制设备以满足用户的特定需求。总体而言，02110-BA24-AJY1 003-9300-78晶圆处理程序是一种用于半导体基板处理自动化的优秀设备。高性能运动控制技术、先进的安全特性、长期的可靠性和简单的设置使其成为任何自动化制造环境的理想选择。