二手 BROOKS AUTOMATION 109473-25 #293757066 待售

BROOKS AUTOMATION 109473-25是一款晶圆处理程序，设计用于广泛的半导体处理应用。它能够支持多种晶圆格式，如8英寸、12英寸，甚至更小。此模型非常适合大批量生产,因为它每分钟可处理多达24个晶圆。组件坚固耐用的结构可确保在温度和湿度变化的各种生产环境中的使用寿命和灵活性。109473-25具有基于真空的晶圆传输设备与高对比度检测系统相结合。组件配有五个真空保持电机，可以快速运输和固定晶片而不会造成损坏。真空控制装置设计效率高，精度高，晶圆对准精度高。坚固的集成晶圆处理机也提供了极好的防污防护。它配有一个特殊的晶片导轨和一个收集箱，防止粒子进入工具，损坏晶片。此外，晶圆接收区还配备了专用传感器，保持环境清洁，使晶圆沉积自动引发。该组件包括手动和自动流程选项,以及不同协议的可编程功能。手动流程允许用户按照自己的要求配置所有参数，而自动流程则不需要持续监控，让用户专注于其他更重要的任务。最后,组件易于访问和直观的图形用户界面（GUI）还可确保在设置、控制和维护方面提高效率。该组件设计用于在现有生产线内轻松集成,还提供了可自定义的选项,例如用于处理和过程控制的自动化。它还具有安全保护设备以及用户友好的LED指示灯,可提供组件的实时状态和任何错误。最后，BROOKS AUTOMATION 109473-25是为大批量生产而设计的先进晶圆处理程序。除了易于安装和维护的用户友好集成技术外,它还具有多种功能,可提供卓越的晶圆传输和防止污染。