二手 BROOKS AUTOMATION 121-655 #9232807 待售

BROOKS AUTOMATION 121-655是一种晶圆处理设备，设计用于高效晶圆运输和分配。它可以同时用于运输和分配多达四个8英寸晶片。该系统主要用于半导体制造和测试实验室，以及各研究机构的工具。该单元配备了可互换模块，允许根据用户需求进行定制。其中包括一个可调节的开放式载荷/卸载室、晶圆传输和锁存、晶圆存储容量和精密计量元件。这款晶圆处理器有多个空气轴承轴，用于高性能操作，与多种晶圆处理设备兼容。该机有两个主要部件，即一个自动化的Open-Load/Unload腔室和一个运动控制工具。前者提供了半导体工具晶片的精确、高精度和快速加载/卸载。它还包括在操作前后在操作室中精确定位晶片的资产。运动控制模型包括晶片交换机构和模具定位设备，可使多达四个8英寸晶片以鼓型配置旋转，以减少载荷/卸载时间。晶圆处理系统还具有柔性真空晶圆处理单元、温度控制机以及支持低接触等离子体过程的能力。这种晶圆处理工具具有独特的功能，使晶圆能够以精确的方式在不同类型的工具之间传输。这有助于用户减少与晶圆运输和存储相关的时间和能源成本。121-655是满足所有用户要求的可靠高效的晶圆处理资产。它是高度紧凑和节能的，确保它消耗最小的空间。此外,该模型使用耐用和高质量的组件以及易于使用和操作的健壮、用户友好的软件构建。这种设备的制造符合最高质量和安全标准。