二手 BROOKS AUTOMATION 138150 #293633715 待售

BROOKS AUTOMATION 138150晶片处理器是一种自动化晶片对准和处理工具，设计用于材料加工和生产作业。这种晶片处理设备能够装载、传输、对准、卸载和处理直径不超过12英寸的晶片。138150配备了先进的视觉系统，以确保在对准和处理晶片时精确对准。BROOKS AUTOMATION 138150具有几个关键功能,使其成为市场上最高效、最可靠的晶圆处理系统之一。该单元具有± 0.1毫米的可重复精度,以确保在执行晶圆对准和处理操作时精确对准。它还配备了自动晶片定心机，可以将晶片的中心位置调整到± 0.15毫米，从而增加一层精度和可靠性。为保证高吞吐量性能，138150采用了深思熟虑的基于真空的晶片加载工具。该资产利用两条专用真空路径，确保将晶片快速准确地加载到模型中。此外，该设备还具有高容量的负载锁，能够快速高效地同时处理多个晶片。BROOKS AUTOMATION 138150晶圆处理系统还包括高速直线执行器单元，以实现高速、精确的晶圆对准和处理，定位精度± 0.5毫米。这款线性执行器机进一步启用了先进的视觉技术，使138150能够在进行对准操作前精确读取晶圆边缘标记或其他晶圆特定标记。BROOKS AUTOMATION 138150还配备了先进的过程控制工具，允许自动化的过程优化和控制。这种过程控制资产使138150能够以最小的操作员干预来进行晶圆处理操作。此模型还可以设置为特定的流程配方，允许可以更快速运行的预编程、可重复和标准化操作，从而最大限度地减少停机时间并优化生产。BROOKS AUTOMATION 138150晶片处理器是一种高效可靠的自动化晶片对准和处理设备，设计用于材料加工和生产操作。该系统具有高速直线执行器单元、真空晶片装载机、自动晶片定心工具、先进视觉资产和先进的过程控制模型，以确保可靠准确的晶片处理操作。138150能够处理直径达12英寸的晶片，精度±可重复精度的0.1毫米。对于任何需要高效可靠晶圆处理操作的材料加工或生产操作,此设备是一个很好的选择。