二手 BROOKS AUTOMATION 140392 R #293664130 待售
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BROOKS AUTOMATION 140392 R晶片处理程序是一种紧凑高效的自动化解决方桉,用于处理、传输和对准晶片,精确度非常高。它旨在确保材料在多个晶圆载波之间被操纵时不会受到交叉污染。该单元是一个开放式体系结构系统,利用线性电动机和编码器进行精确的晶圆处理。通过使用传输例程,各种标准尺寸和厚度的晶圆可以准确处理,不会受到损坏。系统的高精度是通过用主动监控运动、速度和位置的精确反馈回路控制机器人,提供对设备运动的完全控制来实现的。140392 R Wafer Handler配备了直观的控制面板,使操作员能够轻松设置和管理自动化流程。集成的流程监控系统使用户能够实时跟踪作业并监控其进度。此外,该单元还能够处理定制组件,包括复杂的阶梯式晶片和大光盘。转移机器人采用灵活、模块化的结构设计,可定制以满足每条生产线的需求。它与多种不同类型的晶圆载体兼容,最多可处理350毫米晶圆。转移机器人可以设置为上下两个位置或并排布置,以最大化机器人的运动范围。BROOKS AUTOMATION 140392 R Wafer Handler的开放式架构设计允许与其他自动化流程(如视觉系统和Web处理器)轻松集成。这使得生产线更加精简,降低了交叉污染的风险,增加了吞吐量。此外,易于编程和自定义传输机器人的能力使操作员能够轻松响应任何过程更改,而无需进行复杂的编程或机械调整。总体而言,140392 R Wafer Handler为高精度处理、传输和对准晶片提供了高效可靠的解决方桉。它具有直观的控制面板、可定制的转移机器人和开放式体系结构集成功能,使其成为工业生产的绝佳选择。
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