二手 BROOKS AUTOMATION 143668 #9254402 待售

BROOKS AUTOMATION 143668是一个晶圆处理器，旨在快速、高效地移动半导体通过处理线。利用高扭矩多轴运动,143668晶圆处理程序可在没有额外硬件的情况下,在长、直截面或曲线周围输送直径不超过6英寸（150毫米）的基板。BROOKS AUTOMATION 143668也能够在3°C至40°C的范围内精确控制加热的晶片卡盘或冷板的温度。该单元标配可编程逻辑控制器,允许操作员配置和运行不同的工作流。143668装有三个独立运动轴，载重量可达7公斤。两个垂直轴上下移动晶圆操控臂，而第三个轴在基材载体之间移动。它真正是一个可以进行3-D运动的多轴设备。手臂最大行程417毫米，循环时间快达8秒。BROOKS AUTOMATION 143668晶片处理器是为了安全、免电池操作、容易整合和过程可靠性而设计的。该单元配有Easy EDM软件包,便于编程和操作。EDM软件允许操作员创建特定于单个流程的客户定义的工作流。电源直接由外部交流线路提供,无需更换繁琐的电池。该单元还配备了先进的电子监控系统，提供关于143668性能和状况的实时反馈。BROOKS AUTOMATION 143668晶片处理器具有许多功能，以最大限度地提高流程效率和可靠性。集成的触觉反馈单元向EDM软件提供有关晶圆对齐的实时信息。这为操作员提供了对基板位置的精确控制，最大限度地减少了与未对准相关的缺陷。触觉反馈机还能够提供晶圆从一个站移动到另一个站的进展信息。143668是一个功能强大且可靠的晶圆处理程序,可满足所有工艺需求。它的高扭矩多轴运动允许有效的基板沿着弯曲或笔直的路径移动。它带有Easy EDM软件包和用于精确晶圆对齐的触觉反馈工具。电源直接通过外部交流线路提供,无需更换繁琐的电池。该设备还配备了一系列温度控制选项，使其适合各种温度。BROOKS AUTOMATION 143668晶圆处理程序的特点和功能是任何基材工艺的理想选择。