二手 BROOKS AUTOMATION 199630-0001 #293670619 待售

ID: 293670619
Razor robot.
BROOKS AUTOMATION 199630-0001晶片处理程序是一种多用途、多室的设计,可容纳100毫米至300毫米的各种晶片尺寸。先进的晶片处理程序设计在处理不同直径的晶片时可提供卓越的性能,是硅片制造和加工的理想解决方桉。腔体和盖子采用重型耐腐蚀不锈钢结构,框架采用焊接铝挤出。199630-0001设计采用编码器控制的环绕式皮带系统,可减少材料弹跳,并在加工室之间提供一致、平稳的晶圆传输。皮带的运动是assymetric,确保晶片移动不接触或干扰其他组件和材料在腔室。可调整驱动器以实现各种晶圆尺寸的最佳皮带速度和加速度。BROOKS AUTOMATION 199630-0001的内部组件封闭在密封环境中,确保清洁干燥的处理环境。通过腔室的气流由具有电子风扇调速能力的可调风扇系统控制,排气与过滤器集成。这种优化的环境减少了晶片上材料的升华和凝结。晶圆处理程序通过USB链接PC软件进行监控和控制。如果检测到错误,则会显示错误代码,并且在出现问题之前腔室会停止,从而降低损坏晶片的可能性。该软件为易于使用而设计,具有用户友好的图形用户界面和自动设置例程。199630-0001是一个高效、可靠、经济的晶圆处理系统。设计用于反面接触开口、PH3沉积、导电或介电溅射沉积等过程的最佳性能和完整的环境控制。多室设计可以轻松适应各种晶片尺寸,可调节的风扇速度和受控环境确保晶片的清洁、安全的操控。该软件通过自动设置例程和错误检测功能提供了简单的操作控制。这种高度可靠、精密的晶片处理程序是硅片制造商和其他需要仔细、精确处理晶片的应用的理想选择。
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