二手 BROOKS AUTOMATION 6-0000-2562-PCR #9112498 待售

BROOKS AUTOMATION 6-0000-2562-PCR
ID: 9112498
Repair, assy, controller, ESC212B.
BROOKS AUTOMATION 6-0000-2562-PCR是一种用于半导体制造等行业的自动化晶圆处理器。它是目前市场上最先进的晶圆处理设备,能够处理多达8个直径200毫米或300毫米的晶圆。该系统旨在提高晶圆加工操作的准确性和可重复性,具有晶圆重量检测单元和晶圆卡盘等功能,可根据待处理晶圆的大小进行调整。6-0000-2562-PCR的专属离心机技术也被设计为降低污染风险,而其自动夹紧机则接合标准的STD和多种其他卡带设计。此外,BROOKS AUTOMATION 6-0000-2562-PCR具有先进的功能,使其能够以最小的损坏或污染处理晶片。其先进的动态晶片卡盘和温度控制工具为晶片处理操作提供了均匀的温度,确保晶片没有扭曲或破裂的边缘。温度控制资产还具有可调节的温度设置,允许操作员根据所处理材料的类型自定义温度。6-0000-2562-PCR还设计了多种安全功能,包括紧急停止按钮、互锁和自动清洗模型。清洁设备使用超声波和/或化学剂清洁晶片卡盘和转移室内,减少来自外部来源的潜在污染。此外,该系统还提供了一个综合环境监测单元,用于测量腔室的温度、压力和气体流量。综上所述,BROOKS AUTOMATION 6-0000-2562-PCR是一种先进的晶圆处理机,能够以最小的污染风险提供可重复和准确的处理操作。凭借其全面的安全性和清洁特性,该工具可以为半导体行业提供不间断的操作。
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