二手 BROOKS AUTOMATİON 9704-0955 #9356060 待售
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ID: 9356060
Robot
001-8672-01 Controller transfer module
Vacuum transfer module
THERMIONICS LABORATORY 569310 High vacuum wafer transfer module chamber robot interface
Robot interface
High vacuum interface
Isolation valve
View port
PFB G-2.0x10.2 PA
MAC 45A-AA2-DDAA-1CA Valve
Does not include stand.
BROOKS AUTOMATİON 9704-0955是专门设计用于半导体腔室应用的标准晶圆处理器。此晶片处理程序构建在模块化平台上,该平台专为实现可扩展性而设计,使用户能够定制设备以满足其特定的大小、容量和吞吐量需求。该系统配备了最先进的用户直观晶片界面、超低力精密机器人拾取器和先进的软件控制,允许方便精确的晶片处理。处理程序还可以配置为使用各种对齐和边缘轮廓传感器,以确保晶圆方向准确。9704-0955单元在设计时考虑了安全性,采用了安全互锁机、触觉运动传感器等多种特点,确保操作员安全。这一工具还旨在尽量减少必要的维护量;机器人和进料器设计用于最小的磨损,所有移动部件都使用低粘度、无毒的油进行润滑。该资产还利用各种软件控制的垫子提升器,以确保最佳的污染预防和晶圆保护。BROOKS AUTOMATİON 9704-0955型号得到长期服务承诺的支持,提供各种服务和支持选项,包括培训、维护和现场服务。可以通过多种方式配置设备,以满足客户的需求,包括手动或自动批量采样、盒式磁带/磁带的加载/卸载、8"-18"晶圆尺寸支持、LCB/LTO/NR兼容性以及手动或自动的终端效果器交换。9704-0955是一种灵活可靠的半导体腔室应用选择,允许用户在保持最佳性能和最低维护要求的同时,根据自己的特定需求定制设备。这个晶圆处理程序有强大的服务承诺作为后盾,使客户能够灵活地专注于当前需求,同时对系统的长期性能充满信心。
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