二手 BROOKS AUTOMATION AcuTran 7 #9019132 待售

ID: 9019132
Robotic wafer transfer atmospheric Does not include arm.
BROOKS AUTOMATION AcuTran 7晶圆处理器是一款先进的高性能晶圆处理机器人,旨在满足当今要求苛刻的半导体行业的要求。AcuTran 7在晶圆处理应用程序中提供卓越的性能、准确性、可靠性和灵活性。BROOKS AUTOMATION AcuTran 7由AcuTrack控制器、机器人臂、XYZ轴舞台和机器人臂运动控制单元组成。AcuTrack控制器是AcuTran 7设备的主要控制单元。它具有实时多任务操作系统、高速通信端口和强大的用户界面。AcuTrack控制器可用于配置和控制整个BROOKS AUTOMATION AcuTran 7单元,包括机器人运动和手臂运动。机器人臂的设计在晶圆处理应用中提供最大的灵活性。它能够执行拾取和放置操作、晶圆检查、测量、对准和测试以及许多其他操作。机器人臂采用高精度无刷交流伺服电机供电,由先进的矢量电机控制器驱动。XYZ轴级符合SEMI标准,设计用于处理直径不超过200 mm的晶片。它支持高精度运动控制,用于拾取、对准和测试操作。XYZ轴级由高分辨率编码器驱动,并由无刷直流电机控制器供电。机器人手臂运动控制单元负责控制所有机器人手臂运动,补偿晶圆错位。它具有多模伺服环路控制机,并配有内置的溷合器电路,提供更平滑、更精确的机器人运动。总体而言,AcuTran 7晶圆处理程序是一种极其可靠和坚固的工具,能够精确处理各种晶圆处理应用程序。其先进的控制技术、先进的制造工艺和多模式伺服环路控制资产,确保它能够满足即使是最苛刻的应用的需求。BROOKS AUTOMATION AcuTran 7是一款可靠且经济实惠的解决方桉,可提供卓越的投资回报。
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