二手 BROOKS AUTOMATION ATR-8 #293770385 待售

BROOKS AUTOMATION ATR-8是一种高性能晶片处理程序,旨在在指定的工作空间范围内有效地传输、对齐和对齐晶片。BROOKS AUTOMATION ATR8适用于半导体和图像传感器制造厂的晶圆处理、分析研究和高密度晶圆存储。该机具有宽阔的底座和承重平台，允许携带直径达230mm的晶圆盒式磁带。此外，它的高扭矩电动机和新一代潜水驱动器使它能够精确控制晶圆托盘的运动。ATR-8配备了一系列传感器和智能组件,用于无错误处理。例如，机器与一个ABVision™的2D对准系统集成，该系统允许在微秒内精确居中晶圆。该机器还与真空控制辅助（VCA™）相结合，实现了所谓的"真空输出"晶圆传输。这使得机器能够对晶圆尺寸的变化做出快速反应，使其成为工作的可靠和安全的工具。机器改进的机械设计也有助于降低运营成本。ATR8采用了一种专利的空气承载臂固定器，可提高晶圆在整个系统中运动的稳定性，从而降低与振动相关的风险。这有助于将晶圆断裂和其他维护成本降至最低。BROOKS AUTOMATION ATR-8也有一个简单的设计，使操作员更容易导航。该机器设计为与水平和垂直传输过程兼容。可以为各种操作配置传输协议,也可以为不同的托盘加载/卸载序列设置传输协议。机器还具有C轴对准功能，使其能够在不同场景中快速准确对准晶片。总之，BROOKS AUTOMATION ATR8是一种可靠且用户友好的晶圆处理程序。它具有传感器、组件和机械设计功能,可改善操作并降低操作成本。此外，它与各种工艺的兼容性以及快速准确对准晶片的能力，使得它成为任何半导体和图像传感器制造厂的绝佳工具。