二手 BROOKS AUTOMATION ATR-8 #9019122 待售
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ID: 9019122
Automation reliance atr-8 atmospheric transfer robot w/ 8.4” arm (equipped with keyence ap-31k pressure sensor module)
(1) brooks automation reliance atr series 8 robot controller
(1) assy cable controller 8 signal 15ft
(1) assy motor cable, single axis, series 8, 15ft
(1) cable mld, db37, m-f 15ft-csmn37mf-15
(1) reliance atr user’s manual cd-rom
Dimensions (l”*w”*h”): 16 ¼ x 13 ¼ x 28 1/8.
BROOKS AUTOMATION ATR-8是业界领先、可靠的晶片处理程序,是晶片加载、盒式磁带加载和卸载以及模具单个等多种应用的首选。这种可靠的晶圆处理程序处理直径可达8英寸(200毫米)的基板,能够在600毫米晶圆的完整水平上进行超精细处理。这种先进的晶圆处理程序精确准确,非常适合许多应用。利用它的自动化操作,处理是精确且可重复的,并且可以用晶圆大小、厚度和螺距等多种参数进行编程。高精度光学系统为SAG和PER处理操作提供了晶片的精确识别和定位。BROOKS AUTOMATION ATR8还具有集成的安全门联锁装置和可调节的力应用传感器,可确保最高安全级别。ATR-8具有许多旨在提高工艺生产率的功能。这些包括具有操作灵活性的独立卡带和晶片处理程序、并行SAG/PER操作、高速故障恢复、对象识别能力以及数据记录和预报警能力。一个可选的自动对准功能,以及一个集成的压力机和升降机模块促进晶圆中心的并行操作。此高级功能使ATR8能够忠实地重现准确的可重复操作。BROOKS AUTOMATION ATR-8提供了极致的灵活性。它可以同时处理不同的基板,在一次运行中完成多次操作,也支持单面和双面操作。它还具有易于使用的触摸屏界面,允许用户设置所需的参数。来自BROOKS AUTOMATION的可靠的BROOKS AUTOMATION ATR8提供了卓越的性能和可靠性,而且停机时间最短。它对其设计和性能进行了广泛的测试和验证,并被证明能够提供高质量、可靠和可重复的性能。此晶片处理程序的设计具有满足大多数应用要求的灵活性和能力,使其成为设备OEM、实验室研究人员以及任何需要高效处理和加工晶片的组织的理想选择。
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