二手 BROOKS AUTOMATION ATR-8 #9064554 待售

BROOKS AUTOMATION ATR-8是一个行业标准的晶片处理程序,旨在在真空和压力控制环境中可靠地运输和交换晶片。该设备采用高速前端晶片处理机器人，以每秒25个晶片的速度精确处理和传输多达8个平行晶片。机器人臂梁由高扭矩的直接驱动电动机驱动，以实现平稳、精确的运动。该系统还包括一个BROOKS AUTOMATION ATR8紧凑的工艺室，它可以快速撤离以创造低压环境。ATR-8还具有晶圆处理机器人和加工室之间一致、可靠的密封，提供高质量和可重复的结果。该单元配备了健壮的电子反馈，使操作员能够根据需要监控和调整机器人手臂的速度。此外,ATR8与大多数标准晶片格式兼容,便于互换。BROOKS AUTOMATION ATR-8具有多种高级功能,可确保安全高效的晶圆处理过程。这些特点包括机电制动机接合机器人手臂和提供晶片的安全处理。该工具还具有最先进的安全互锁系统、读卡器和视觉识别技术，在处理精致晶片的同时保证操作员的安全。此外，资产还配备了几个传感器，用于检测工艺室内的热量或化学含量。BROOKS AUTOMATION ATR8还包括一个先进的过程控制模型，用于监测晶圆温度、气体水平、腔室压力和流速等参数。这一特性使操作员能够快速准确地分析、调整和优化晶圆处理条件。总体而言，ATR-8是在真空和压力环境中处理和运输晶片的高效可靠的设备。高级安全功能、强大的电子反馈系统和过程控制功能相结合,非常适合关键晶圆处理应用。