二手 BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS #9281505 待售

BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS是一款高级晶圆处理程序,专为高精度、高速自动晶圆处理而设计。该设备能够处理各种晶圆尺寸，从8英寸到12英寸晶圆。凭借其强大的设计和强大的组件，系统能够实现高吞吐量和可靠性。Backbone-VTS利用机械臂和可靠的晶圆运动控制,旨在保持极高的精度。每个手臂都牢固地安装在其支撑结构上，并通过一套全面的控制装置操作。该单元使用固态直流伺服控制器进行晶片载波电机运动。控制器允许在广泛的晶圆大小、运动和位置上快速准确地改变运动速度。该机具有两台独立的高扭矩步进电机，能够实现亚微米定位和精确的晶片与处理器对准和控制。除了机械部件外,该工具还包括智能控制资产。该模型包括各种传感器，用于检测晶片的大小和方向，以及测量盒式磁带内部的环境条件。控制器被编程为控制机器人手臂的运动，运行晶圆运输程序，协调多个晶圆传输，跟踪晶圆的位置和状态。控制器还能够识别错误并自动启动纠正操作。BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS具有全面的设备体系结构,旨在提供卓越的性能。它的模块化设计允许用户定制系统以满足他们的特定需求。该单元包括了广泛的软件包，如高速处理程序管理软件和功能齐全的处理程序调试软件。机器还支持不同类型的行业协议，允许机器与其他设备直接集成。Backbone-VTS是可用的功能最强大、效率最高的晶圆处理程序之一。它坚固可靠的设计、精确的晶片与处理程序对齐以及全面的软件包,使其成为需要高吞吐量、高精度和高可靠性的应用程序的理想选择。凭借其全面的特性和性能,它是满足自动晶圆处理需求的完美解决方桉。